製品情報
情報電子部門
取扱商品一覧

電子工業用薬品
高解像度フォトレジスト「スミレジスト」

化合物半導体向け アルキルメタル
アルミ・チタニウム  ターゲット

◆フォトレジスト(G線、I線、KrF、ArF、EB)
◆レジスト現像液
◆スパッタリング用ターゲット
・アルミニウムターゲット
◆半導体用高純度薬品
・アセトン ・イソプロピルアルコール
・メチルエチルケトン
・硝酸 ・硫酸 ・リン酸 ・塩酸
・フッ化水素酸 ・フッ化アンモニウム ・アンモニア水
・過酸化水素水・各種混酸
◆MOCVD用原料                                         
・有機金属
◆包装資材等  ・高分子型帯電防止ソフトトレイ ・導電性フィルムシート
・防湿梱包用アルミラルネート袋
・各種ICトレイ
・キャリアテープ
・乾燥剤
・湿度インジケータ